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    Annealsys 南方科技大学快速退火炉项目通过验收

    2015-10-22 11:01:30
    Annealsys 南方科技大学快速退火炉项目通过验收

    2015年7月10日,南方科技大学采购的法国Annealsys快速退火炉顺利通过验收。此次安装由Annealsys中国区代理北京朗铭润德光电科技有限公司技术人员完成,安装退火炉的型号为AS-ONE150.
    快速退火炉AS-ONE系列主要性能如下:

    应用

    RTA (快速热退火)

    RTO (快速热氧化)

    扩散,接触式退火

    化合物半导体退火

    氮化, 硅化, 硒化, 硫

    结晶化及致密化

    性能和特征

    温度范围: 室温 至 1500°C

    升温速率可达200°C/s

    特殊配置下冷却速率达 100°C/s

    带质量流量控制器的气体混合性能带质量流量控制器的气体混合性能

     

    真空范围: 常压 至 10-6 Torr 

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